ASML, FOM/NWO en UvA/VU plannen oprichting Instituut voor Nanolithografie

Het onderzoeksprogramma van het INL zal zich in eerste instantie richten op de fysische en chemische processen die cruciaal zijn voor toekomstige uitbreiding van extreem-ultraviolet (EUV) lithografie. Dit is een toonaangevende technologie voor het produceren van computerchips en is onmisbaar voor innovatie in de wereldwijde halfgeleiderindustrie. Naar verwachting zal het instituut belangrijke bijdragen leveren aan halfgeleiderlithografie, de belangrijkste technologie voor het maken van geheugenchips en processoren in PC’s, smartphones en tablets. In de beginfase zal het instituut zich richten op de fysica van EUV-licht, infraroodlaserfysica, (oppervlakte)fysica van clusters en radicalen en nanofotochemie.

Financiering

ASML zal meer dan een derde van het jaarlijkse budget van het instituut bijdragen en investeert hiermee circa 30 miljoen euro over een periode van 10 jaar. FOM en NWO zullen 25 miljoen euro bijdragen, verdeeld over 10 jaar, en UvA/VU dragen 12,5 miljoen euro bij. De Gemeente Amsterdam heeft 5 miljoen euro toegezegd als opstartfinanciering. Het ligt in de lijn der verwachting dat het instituut baat zal hebben bij de stimuleringsmaatregelen van de overheid voor privaat-publieke samenwerking (TKI-toeslag) en dat het instituut nog 25 miljoen euro kan verwerven via andere financieringsinstrumenten, zoals Europese programma’s. Alles bij elkaar gaat het om een bedrag van 100 miljoen euro voor 10 jaar.

Inbedding

Het instituut zal in het derde kwartaal van 2013 van start gaan onder leiding van het FOM-instituut Amolf. Tegen 2015 zal het een onafhankelijk instituut geworden zijn, dat wordt bestuurd door FOM in samenwerking met de UvA en de VU, en dat ongeveer honderd hooggekwalificeerde wetenschappers en ondersteunende werknemers in dienst zal hebben, waaronder hoogleraren, postdocs, oio’s, afstudeerstudenten en technici. Het instituut zal gehuisvest worden op het Science Park Amsterdam. Dit zorgt voor een inbedding tussen andere pionierende onderzoekers, in een omgeving die ideaal is voor samenwerking en uitwisseling van ideeën. Het instituut zal nauw samenwerken met de onderwijsprogramma’s van de gezamenlijke wetenschapsfaculteiten van de UvA en de VU.

• "Naast onze bestaande samenwerking met universiteiten en onderzoeksinstituten ziet ASML de noodzaak voor fundamenteel lange-termijnonderzoek in nanolithografie, dat zich niet richt op het maken van een concreet product, maar op het verkennen van technologische mogelijkheden. Dit instituut met zijn brede onderzoeksagenda zal het kennisnetwerk op het gebied van nanolithografie uitbreiden en bijdragen aan innovatie in de halfgeleiderindustrie," aldus ir. Martin van den Brink, executive vice president en chief product and technology officer bij ASML.
• "De samenwerking tussen ondernemers en onderzoekers is van cruciaal belang om aan de top te blijven," zegt Henk Kamp, Minister van Economische Zaken. "Met dit instituut kan ASML de groeiende competitie aan en zijn wereldwijde marktpositie verder versterken."
• "Met dit instituut geven we een belangrijke nieuwe impuls aan het topsectorenbeleid in Nederland, dat gericht is op de impact van wetenschap op onze technologiebasis en economie. De brainstormsessies die wetenschappers organiseerden in voorbereiding van de onderzoeksvoorstellen voor dit instituut hebben al verschillende ideeën opgeleverd die tot nieuwe technologische mogelijkheden kunnen leiden. Ik heb er alle vertrouwen in dat dit instituut een voorbeeld zal worden van het bereiken van een win-win situatie voor wetenschap en het bedrijfsleven," volgens dr.ir. Wim van Saarloos, directeur van FOM.
• Prof.dr. Jos Engelen, voorzitter van het algemeen bestuur van NWO, voegt toe: "Dit initiatief sluit aan bij de ambitie van NWO om betrokken te zijn bij langdurige publiek-private samenwerkingsprogramma’s en om het private bedrijfsleven aan te moedigen om haar bijdrage aan het financieren van wetenschappelijk onderzoek in ons land te vergroten. We zijn er trots op dat ASML deze samenwerking met FOM/NWO heeft gezocht."
• Prof.dr. Albert Polman, directeur van FOM-instituut Amolf: "De missie van Amolf is om nieuwe onderzoeksrichtingen, die van belang zijn voor wetenschap en industrie in Nederland, een impuls te geven. Onze coordinatie van het Amsterdamse bod voor het INL, is daar een mooi voorbeeld van en Amolf is zeer toegewijd om van dit nieuwe instituut een succes te maken."
• Carolien Gehrels, wethouder Gemeente Amsterdam (Economische Zaken): "Dit versterkt de structuur van de Amsterdamse en Nederlandse economie. Het instituut creëert nieuwe banen, trekt talent naar de stad en leidt tot nieuwe investeringen."

Het nieuwe instituut gaat van start nadat de contractonderhandelingen tussen de partners zijn afgerond.