Positioneerinrichting

De nieuwe NanoPZ-serie omvat nauwkeurige positioneerinrichtingen voor toepassing in onder meer de semi-conductorindustrie, wetenschap en lucht- en ruimtevaart. In de serie zijn de PZA12 compacte en lineaire actuator, de PZC200 regelaar en de PZC-SB schakelkast opgenomen. De hoge nauwkeurigheid van de actuator is onder andere bereikt door de toepassing van een gepatenteerd piezo micro- stappenmotor. Het ontwerp maakt het mogelijk een afstand van 12 mm af te leggen met een nauwkeurigheid van 30 nm. De maximale snelheid bedraagt hierbij 0,2 mm*s-1 en de maximale belasting 50 N. Verder is deze motor eenvoudig in gebruik en zowel handmatig als via de computer in te stellen.