China bouwt EUV-machine met hulp van ex-ASML-ingenieurs

China heeft een prototype van een EUV‑lithografiemachine gebouwd dankzij reverse-engineering door voormalige ASML-ingenieurs. Deze engineers werkten onder strikte geheimhouding en hebben het systeem in een testfaciliteit in Shenzhen operationeel gekregen.

Hoewel het prototype technisch functioneert, kan het nog geen volledig productieve chips maken. Het apparaat is aanzienlijk groter en complexer dan commerciële ASML-machines en mist nog essentiële componenten zoals de geavanceerde optische systemen van leveranciers zoals Carl Zeiss. Analisten schatten dat grootschalige productie in China waarschijnlijk rond 2028 tot 2030 zal worden bereikt.

Technische achtergrond

Het prototype kan EUV-licht genereren, een vereiste voor het projecteren van nanometerprecisiepatronen op silicium. Toch blijft het verschil tussen een werkend prototype en een productieklare machine enorm. ASML heeft jarenlang gewerkt aan precisiemechanica, vacuümtechnologie, software en systeemintegratie, en beschikt over een netwerk van bijzondere toeleveranciers dat wereldwijd uniek is. Dit ecosysteem van gespecialiseerde leveranciers is nog niet eenvoudig te kopiëren, wat een belangrijke barrière vormt voor China.

Hoe China dit heeft bereikt

De ontwikkeling is deels mogelijk gemaakt door:

• Voormalige ASML-ingenieurs, gelokt met hoge financiële incentives en werkend onder hoge geheimhouding.
• Reverse-engineering van oudere ASML-machines en onderdelen via secundaire markten.
• Een grootschalige staatsgeleide strategie, intern vergeleken met een ‘Manhattan-project’ voor chiptechnologie.

Deze aanpak is onderdeel van China’s bredere strategie om technologische onafhankelijkheid te bereiken, mede ingegeven door jarenlange exportbeperkingen op EUV-machines vanuit Nederland en de VS.

Gevolgen voor ASML en de markt

Hoewel ASML’s monopolie op EUV-technologie nog intact is, markeert de Chinese doorbraak een symbolische verschuiving. Analisten wijzen erop dat het prototype een waarschuwing is voor de industrie: China loopt in reverse-engineering en gespecialiseerde expertise langzaam in, maar de complexiteit van een productiesysteem blijft een grote barrière. Het project is echter wel een belangrijke indicatie van een versnelde technologische achterstandsinhaalpoging.