Staatssecretaris Dekker opent Advanced Research Center for Nanolithography

Het Advanced Research Center for Nanolithography is een publiek-private samenwerking tussen de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM), de Universiteit van Amsterdam (UvA), de Vrije Universiteit Amsterdam (VU) en ASML, de producent van lithografiemachines voor de chipindustrie. Het centrum is gevestigd op het Amsterdam Science Park.

Op 1 januari 2014 is ARCNL van start gegaan met prof.dr. Joost Frenken als directeur. ARCNL verricht fundamenteel onderzoek op het gebied van de nanolithografie, in het bijzonder voor toepassingen in de halfgeleiderindustrie. In eerste instantie richt het centrum zich op de fysische en chemische processen die cruciaal zijn voor lithografie met Extreem Ultraviolet (EUV) licht. Inmiddels zijn er vijf onderzoeksgroepen actief, zijn de eerste onderzoekers in dienst en zijn de experimentele opstellingen in de nieuwe laboratoria bijna gereed.

Een ‘Advanced Research Center’ is een nieuw type samenwerkingsverband, waarmee NWO een impuls geeft aan samenwerking tussen universiteiten en private partijen. Aan de basisfinanciering van het ARCNL dragen de private en publieke partijen ieder 50 procent bij; de Gemeente Amsterdam en de Provincie Noord-Holland geven aanvullende financiële steun.

Tijdens een korte initiële fase, functioneert ARCNL als een afdeling van het FOM-instituut Amolf. Daarna zal het als een onafhankelijk en zelfstandig onderzoekscentrum verder gaan, met circa honderd wetenschappers en technici in dienst. ARCNL wordt gemanaged door de Stichting FOM onder auspiciën van de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO).