17 feb. 1999
1 minuut
Continue ontwikkelingen en miniaturisering binnen de halfgeleiderindustrie, stellen steeds hogere eisen aan nauwkeurigheid en snelheid van de productiemiddelen. Daarom heeft sensorfabrikant SUNX een nieuwe laser displacement-sensor ontwikkeld: HL-C2.
Deze lasersensoren meten de afstand tot, of dikte van materialen, met de precisie die de komende jaren binnen deze industrie nodig zal zijn. Om dit te kunnen halen, zijn voor deze sensor speciale High Density Linear Cell (HDLC)-CMOS sensor chips ontworpen.
De sensor wordt toegepast om bijvoorbeeld dikte van-, oneffenheden op-, of positie van glassubstraten te meten. Daarnaast kan de sensor gebruikt worden bij kwaliteitscontrole van miniatuurcomponenten, of excentriciteitmeting van precisiewalsen.
De high precision variant van sensor heeft een meetbereik van 1 millimeter, een maximale resolutie van 10 nanometer en een maximale samplefrequentie van 100 kHz. Daarnaast zijn standaard varianten beschikbaar met een groter meetbereik.
Anderen lazen ook
