Optische encoder

De Mercury II 6000V optische encoders van MicroE Systems bieden nanometerresolutie in hoogvacuümomgevingen. Deze serie encoders is geschikt tot 10-8 torr vacuüm. Met een precisie van 1,2 nanometer is de sensor 8,2 mm hoog.

Zowel deze eigenschappen als het gebruik van lineaire en roterende schalen met ingebouwde index en limieten, maken de encoder geschikt voor allerlei toepassingen – waaronder SEM en TEM, halfgeleiderprocessing en metrologie, focus- en diafragmacontrolemechanismen en XY-stadia voor vacuümomgevingen. De serie is aanpasbaar aan verschillende toepassingsvereisten: de outputresolutie kan door de gebruiker worden geprogrammeerd en de encoder is geschikt voor zowel lineaire als roterende toepassingen. De highspeedtoepassingen worden ondersteund door de snelste A-quad-B-output in de 20 μm encoderklasse, resulterend in een snelheid tot 1 m/s bij een resolutie van 20 nm. Alle modellen kennen een relatief lage warmteproductie bij de sensor, 250 mW. Een lage warmteproductie is van belang voor toepassingen met een positionering op nanometerniveau.