Optische encoder voor vacuüm

De Mercury II 6000V-serie van MicroE Systems biedt nanometerresolutie in hoogvacuüm omgevingen.

De encoder is geschikt tot 10-8 torr vacuüm. De precisie van de 8,2 mm hoge sensor is 1,2 nanometer. Deze eigenschappen, plus het flexibele gebruik met lineaire of roterende schalen met ingebouwde index en limieten, maken de Mercury II 6000V ideaal voor veeleisende toepassingen zoals SEM en TEM, halfgeleider-processing en metrologie, focus- en diafragma controlemechanismen, en XY-stadia voor vacuüm omgevingen.

De sensor is aanpasbaar: de outputresolutie kan door de gebruiker worden geprogrammeerd en de encoder is geschikt voor zowel lineaire als roterende toepassingen. De high-speed toepassingen worden ondersteund door de snelste A-quad-B output in de 20µm encoder-klasse, resulterend in een snelheid tot 1 m/s bij een resolutie van 20 nm.

Alle modellen hebben een lage warmteproductie bij de sensor, namelijk 250 mW. Dit is een fractie van andere encoders in deze resolutieklasse. Een lage warmteproductie is een essentiële prestatiefactor voor toepassingen met nanometer-level positionering.