10 nm-DDR4 DRAM

Samsung is begonnen met de massaproductie van 10 nanometer 8-gigabit DDR4 DRAM-chips. DDR4 (double data rate 4) is momenteel de standaard voor intern geheugen in PC’s en netwerken.

Gezien de populariteit van DDR4 wilde Samsung komen tot verdere miniaturisering. De technische uitdaging lag in de produceerbaarheid van 10 nm-geheugenchips. De oplossing werd uiteindelijk gevonden  in ArF-immersielithografie (ArF = argonfluoride). EUV-gereedschap bleek zodoende niet nodig (EUV = extreme ultra violet). In 2014 was Samsung de eerste met de massaproductie van 20 nm 4-gigabit DDR3 DRAM-chips.

www.samsung.com/semiconductor