(No) Waste of Mems: schoner en effectiever produceren

Wereldwijd neemt de vraag naar Micro-Electro-Mechanical Systems (Mems) toe. Vanuit het lectoraat Nanotechnology van Hogeschool Saxion onderzoekt Aleksandar Andreski met samenwerkingspartners daarom hoe we die schoner en effectiever kunnen produceren. Zo onderzoekt Saxion samen met Bronkhorst High-Tech en Salland Engineering de mogelijkheden om de productie van MEMS kwalitatief op te schalen.

Sinds corona is er steeds meer vraag naar flowmeters. Deze meten – met de omvang van een frisdrankblikje – de hoeveelheid en de stabiliteit van vloeistoffen die rondgepompt worden in brouwerijen, waterzuiveringsinstallaties en, in toenemende mate, infuuspompen. Het maken van flowmeters, waar de Mems een onderdeel van zijn, is een proces waarbij veel handwerk van specialisten komt kijken. Het assembleren en controleren van de onderdelen is arbeidsintensief. Niet altijd is het daarbij mogelijk om in elke fase inzichtelijk te krijgen of de verschillende componenten van de chip goed functioneren. Andreski: "Wanneer je aan het eind van het proces ziet dat bijvoorbeeld de fluïdische component niet aan de kwaliteitseisen voldoet, ben je tijd en materiaal verloren. We zoeken dus naar een efficiëntere meetmethode waarmee we het productieproces in alle stadia kunnen monitoren en verbeteren: in minder tijd, met minder afval, maar met meer kwaliteit."

Het detecteren van fouten in chips kan daarnaast op bredere schaal grote productievoordelen opleveren. Chips met foutjes voldoen namelijk nog prima in instrumenten of apparaten die op een lager niveau presteren, zoals in een laptop. De juiste chips in de juiste apparatuur: ook daarmee wordt door dit onderzoek de afvalberg en het verspillen van grondstoffen tegengegaan.

Betrouwbaarheid

Bij de productie van Mems-chips spelen ook betrouwbaarheidsvraagstukken een rol. De chips bestaan uit verschillende componenten, die in opeenvolgende fasen van het productieproces worden toegevoegd. Zo kunnen ze, naast een elektrisch veld, beschikken over bewegende mechanische onderdelen. Net als over fluïdica en fotonica. Een complex voorbeeld waar alle benoemde componenten samen komen, is een opto-fluïdische biochip. Deze chip dient meestal als een biosensor, die in staat is een bloedsample te meten op de aanwezigheid van antilichamen in het geval van ziekte. Daarvoor moeten alle benoemde domeinen echter op een robuuste, veilige en onvervuilende manier geproduceerd en geïntegreerd worden.