EO

Martin van den Brink Award gaat naar Marco Wieland

12 juni 2018 om 13:49 uur -

Marco Wieland (links) en Martin van den Brink. Foto DSPE

Marco Wieland, CTO en medeoprichter van Mapper Lithography in Delft, heeft de Martin van den Brink Award gekregen vanwege zijn rol als ‘technisch geweten’ bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie tot volwaardige aanvulling op de optische lithografie.

Wieland studeerde van 1993 tot 1999 Technische Natuurkunde aan de TU Delft en deed zijn afstudeeropdracht in de groep van prof. Pieter Kruit, hoogleraar in de optica van geladen deeltjes. Na zijn afstuderen richtte Wieland in 2000 samen met studiegenoot Bert Jan Kampherbeek en hoogleraar Kruit een bedrijf op, Mapper Lithography. Toen ideeën voor verbetering van de maskergebaseerde optische lithografie niet tot succesvolle uitwerking kwamen, gingen ze zich toeleggen op maskerloze elektronenbundellithografie. Deze alternatieve techniek schrijft rechtstreeks structuren op halfgeleiderwafers met behulp van tienduizenden parallelle elektronenbundels. Dat maakt de dure optiek en maskers van optische lithografie overbodig, maar kent zelf weer heel andere uitdagingen, zoals de razendsnelle besturing en magnetische afscherming van de elektronenbundels, naast bekende ‘issues' zoals trillingsisolatie, geavanceerde metrologie en beheersing van warmtedissipatie.


Inmiddels heeft Mapper nanometernauwkeurigheid aangetoond voor zowel de positionering van de wafertafel als de besturing van de elektronenbundels en draait er een eerste alfa-machine in de cleanroom van het Franse Leti. Voor de commercialisering van de techniek zijn verdere verhoging van de waferdoorvoersnelheid en verlaging van de kostprijs aanvullende opgaven.


Als CTO is Wieland, samen met COO Guido de Boer, eindverantwoordelijke voor de architectuur van de Mapper-machine, de ontwikkelingsroadmap van het bedrijf en de uitwerking van de diverse technische oplossingen. Zijn bijdragen daaraan zijn vastgelegd in tientallen patenten.

 

Award

Alle reden voor de jury om namens DSPE Marco Wieland te onderscheiden met de Martin van den Brink Award 2018. De jury bestond uit Jos Benschop (ASML), Pieter Kappelhof (Hittech Group), Adrian Rankers (Mechatronics Academy), Hans Krikhaar (DSPE) en Martin van den Brink (ASML).


De Martin van den Brink Award is in 2012 ingesteld om het belang van systeemarchitectuur te onderstrepen. Initiatiefnemers waren DSPE, TNO, Brainport Industries, High Tech Systems Platform, Point-One en High Tech Campus Eindhoven. De eerste award werd datzelfde jaar uitgereikt aan Erik Loopstra, systeemarchitect bij ASML. In 2016 ging de prijs naar Jan van Eijk, voormalig CTO Mechatronics bij Philips Applied Technologies en emeritus hoogleraar Advanced Mechatronics aan de TU Delft. Naamgever Martin van den Brink reikte de derde prijs op 7 juni uit aan ir. Marco Wieland vanwege zijn cruciale rol bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie.

 

Gerelateerd nieuws

TNO lanceert app BewustBelast voor inzicht in fysieke belasting

BewustBelast: inzicht in fysieke belasting

Voor het ondersteunen van werknemers bij het maken van bewust gezonde keuzes op de werkvloer heeft TNO een gratis app ontwikkeld. De app is ontwikkeld in opdracht van het ministerie van SZW.

Nieuw Topsectoren- en Innovatiebeleid

Nieuw Topsectoren- en Innovatiebeleid

Het kabinet heeft 25 missies vastgesteld om de Nederlandse economie te versterken binnen de maatschappelijke thema’s energietransitie & duurzaamheid; landbouw, water & voedsel; gezondheid & zorg en…

Waarom bliksem vaak meermaals inslaat op dezelfde plek

Waarom bliksem vaak meermaals inslaat op dezelfde plek (video)

In tegenstelling tot wat vaak wordt gedacht, slaat bliksem vaak meerdere malen op dezelfde plek in. De reden waarom een bliksemkanaal wordt ‘hergebruikt’, is tot nu toe echter onopgehelderd. Recentelijk heeft een…

Webshop

webshop

 

Gratis nieuwsbrief

EOL

 

Product van de maand

RSS
Nieuw! Lichtschermen PSENopt II - van top tot teen volledig beveiligd

Pilz maakt het portfolio met lichtschermen compleet: De lichtschermen PSENopt II zijn niet alleen verkrijgbaar voor...

Focus op

ABB BV
ABB BV

Machineveiligheid, systemen en componenten

B&R Industriële Automatisering BV *
B&R Industriële Automatisering BV *

Perfection in Automation

Pilz Nederland
Pilz Nederland

Voor industriële (veilige) automatiseringsoplossingen

Ringspann Benelux BV
Ringspann Benelux BV

Partner in aandrijf- en opspantechniek

Rotero Holland BV
Rotero Holland BV

Stappenmotor - Servomotor - Elektro Magneet

Tosec
Tosec

Specialist in plaatbewerking

Download gratis engineering boeken

A gratis boeken downloaden

 

Agenda

20 mei 2019, Eindhoven

Dutch Technology Week

Tijdens de Dutch Technology Week worden in heel Nederland wonderlijke en innovatieve technologieverhalen...

21 mei 2019, Mercure Hotel Roeselare

UPDATE MACHINEVEILIGHEID

Bij de laatste ontwikkelingen in machineveiligheid horen ook moderne interpretaties.

22 mei 2019, LIMTEC+ Diepenbeek

UPDATE MACHINEVEILIGHEID

Bij de laatste ontwikkelingen in machineveiligheid horen ook moderne interpretaties.

Meer agendapunten »