EO

Martin van den Brink Award gaat naar Marco Wieland

12 juni 2018 om 13:49 uur -

Marco Wieland (links) en Martin van den Brink. Foto DSPE

Marco Wieland, CTO en medeoprichter van Mapper Lithography in Delft, heeft de Martin van den Brink Award gekregen vanwege zijn rol als ‘technisch geweten’ bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie tot volwaardige aanvulling op de optische lithografie.

Wieland studeerde van 1993 tot 1999 Technische Natuurkunde aan de TU Delft en deed zijn afstudeeropdracht in de groep van prof. Pieter Kruit, hoogleraar in de optica van geladen deeltjes. Na zijn afstuderen richtte Wieland in 2000 samen met studiegenoot Bert Jan Kampherbeek en hoogleraar Kruit een bedrijf op, Mapper Lithography. Toen ideeën voor verbetering van de maskergebaseerde optische lithografie niet tot succesvolle uitwerking kwamen, gingen ze zich toeleggen op maskerloze elektronenbundellithografie. Deze alternatieve techniek schrijft rechtstreeks structuren op halfgeleiderwafers met behulp van tienduizenden parallelle elektronenbundels. Dat maakt de dure optiek en maskers van optische lithografie overbodig, maar kent zelf weer heel andere uitdagingen, zoals de razendsnelle besturing en magnetische afscherming van de elektronenbundels, naast bekende ‘issues' zoals trillingsisolatie, geavanceerde metrologie en beheersing van warmtedissipatie.


Inmiddels heeft Mapper nanometernauwkeurigheid aangetoond voor zowel de positionering van de wafertafel als de besturing van de elektronenbundels en draait er een eerste alfa-machine in de cleanroom van het Franse Leti. Voor de commercialisering van de techniek zijn verdere verhoging van de waferdoorvoersnelheid en verlaging van de kostprijs aanvullende opgaven.


Als CTO is Wieland, samen met COO Guido de Boer, eindverantwoordelijke voor de architectuur van de Mapper-machine, de ontwikkelingsroadmap van het bedrijf en de uitwerking van de diverse technische oplossingen. Zijn bijdragen daaraan zijn vastgelegd in tientallen patenten.

 

Award

Alle reden voor de jury om namens DSPE Marco Wieland te onderscheiden met de Martin van den Brink Award 2018. De jury bestond uit Jos Benschop (ASML), Pieter Kappelhof (Hittech Group), Adrian Rankers (Mechatronics Academy), Hans Krikhaar (DSPE) en Martin van den Brink (ASML).


De Martin van den Brink Award is in 2012 ingesteld om het belang van systeemarchitectuur te onderstrepen. Initiatiefnemers waren DSPE, TNO, Brainport Industries, High Tech Systems Platform, Point-One en High Tech Campus Eindhoven. De eerste award werd datzelfde jaar uitgereikt aan Erik Loopstra, systeemarchitect bij ASML. In 2016 ging de prijs naar Jan van Eijk, voormalig CTO Mechatronics bij Philips Applied Technologies en emeritus hoogleraar Advanced Mechatronics aan de TU Delft. Naamgever Martin van den Brink reikte de derde prijs op 7 juni uit aan ir. Marco Wieland vanwege zijn cruciale rol bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie.

 

Gerelateerd nieuws

Duitse architect ontwerpt kam om oceaan plasticvrij te maken

Duitse architect ontwerpt kam om oceaan plasticvrij te maken (video)

Pacific Garbage Screening (PGS) is een nieuwe oplossing om uiteindelijk tot schone oceanen te komen. De techniek functioneert zonder netten maar op basis van passieve sedimentatie (bezinking). Het zeeleven wordt niet…

Delft test wisselwerking tussen Casimireffect en supergeleiding

Delft test wisselwerking tussen Casimireffect en supergeleiding

Het Casimireffect en supergeleiding zijn twee bekende kwantumverschijnselen. Los van elkaar zijn deze fenomenen grondig bestudeerd. Maar wat gebeurt er als je de twee effecten samenbrengt in één experiment?…

Flexibele zonnecellen in de vangrail

Flexibele zonnecellen in de vangrail

Voor het eerst zijn er zonnecellen aangebracht op een vangrail. Het gaat om een stuk van 72 meter op een vangrail naast de provinciale weg N194 bij Heerhugowaard. Het is een proef met flexibele folie met zonnecellen.…

Gratis nieuwsbrief

EOL

 

Focus op

ABB BV
ABB BV

Machineveiligheid, systemen en componenten

B&R Industriële Automatisering BV
B&R Industriële Automatisering BV

Perfection in Automation

Pilz Nederland
Pilz Nederland

Voor industriële (veilige) automatiseringsoplossingen

Rotero Holland BV
Rotero Holland BV

Stappenmotor - Servomotor - Elektro Magneet

Safe PCB Nederland
Safe PCB Nederland

Printplaten/PCB's, prototype en series

Product van de maand

RSS
Nieuw IoT bord met software en TFT

Het nieuwe Arrow Aris Edge S3 bord maakt de ontwikkeling van batterijgevoede IoT-applicaties met een klein TFT-scherm...

Download gratis engineering boeken

A gratis boeken downloaden

 

Agenda

27 augustus 2018, Amsterdam

EMC Europe

Internationaal symposium over EMC.

3 september 2018, Breda

Introductie NEN Veiligheidsladder®

Wilt u de veiligheid op de werkvloer vergroten? De NEN Veiligheidsladder® is een certificeerbare norm om...

4 september 2018, Breda

Performance Level & SISTEMA 2.0

Deze training begint bij de basis: de Machinerichtlijn en de link (via risicobeoordeling) naar...

Meer agendapunten »