EO

Martin van den Brink Award gaat naar Marco Wieland

12 juni 2018 om 13:49 uur -

Marco Wieland (links) en Martin van den Brink. Foto DSPE

Marco Wieland, CTO en medeoprichter van Mapper Lithography in Delft, heeft de Martin van den Brink Award gekregen vanwege zijn rol als ‘technisch geweten’ bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie tot volwaardige aanvulling op de optische lithografie.

Wieland studeerde van 1993 tot 1999 Technische Natuurkunde aan de TU Delft en deed zijn afstudeeropdracht in de groep van prof. Pieter Kruit, hoogleraar in de optica van geladen deeltjes. Na zijn afstuderen richtte Wieland in 2000 samen met studiegenoot Bert Jan Kampherbeek en hoogleraar Kruit een bedrijf op, Mapper Lithography. Toen ideeën voor verbetering van de maskergebaseerde optische lithografie niet tot succesvolle uitwerking kwamen, gingen ze zich toeleggen op maskerloze elektronenbundellithografie. Deze alternatieve techniek schrijft rechtstreeks structuren op halfgeleiderwafers met behulp van tienduizenden parallelle elektronenbundels. Dat maakt de dure optiek en maskers van optische lithografie overbodig, maar kent zelf weer heel andere uitdagingen, zoals de razendsnelle besturing en magnetische afscherming van de elektronenbundels, naast bekende ‘issues' zoals trillingsisolatie, geavanceerde metrologie en beheersing van warmtedissipatie.


Inmiddels heeft Mapper nanometernauwkeurigheid aangetoond voor zowel de positionering van de wafertafel als de besturing van de elektronenbundels en draait er een eerste alfa-machine in de cleanroom van het Franse Leti. Voor de commercialisering van de techniek zijn verdere verhoging van de waferdoorvoersnelheid en verlaging van de kostprijs aanvullende opgaven.


Als CTO is Wieland, samen met COO Guido de Boer, eindverantwoordelijke voor de architectuur van de Mapper-machine, de ontwikkelingsroadmap van het bedrijf en de uitwerking van de diverse technische oplossingen. Zijn bijdragen daaraan zijn vastgelegd in tientallen patenten.

 

Award

Alle reden voor de jury om namens DSPE Marco Wieland te onderscheiden met de Martin van den Brink Award 2018. De jury bestond uit Jos Benschop (ASML), Pieter Kappelhof (Hittech Group), Adrian Rankers (Mechatronics Academy), Hans Krikhaar (DSPE) en Martin van den Brink (ASML).


De Martin van den Brink Award is in 2012 ingesteld om het belang van systeemarchitectuur te onderstrepen. Initiatiefnemers waren DSPE, TNO, Brainport Industries, High Tech Systems Platform, Point-One en High Tech Campus Eindhoven. De eerste award werd datzelfde jaar uitgereikt aan Erik Loopstra, systeemarchitect bij ASML. In 2016 ging de prijs naar Jan van Eijk, voormalig CTO Mechatronics bij Philips Applied Technologies en emeritus hoogleraar Advanced Mechatronics aan de TU Delft. Naamgever Martin van den Brink reikte de derde prijs op 7 juni uit aan ir. Marco Wieland vanwege zijn cruciale rol bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie.

 

Gerelateerd nieuws

De A340 ‘Flight Lab BLADE‘ (beeld: NLR)

Eerste vliegtuig met laminaire vleugel gepresenteerd

Het eerste demonstratievliegtuig ter wereld met een laminaire vleugel is onlangs gepresenteerd tijdens de ILA luchtvaartshow in het Duitse Berlijn. Het gaat om de A340 ‘Flight Lab BLADE’, die is voorzien van een…

Vliegen op frituurvet: duurzaam en goedkoop

Vliegen op frituurvet: duurzaam en goedkoop

De luchtvaartsector veroorzaakt 1,5% van de wereldwijde uitstoot van broeikasgassen. Naar verwachting is de uitstoot van de sector tegen 2050 met een factor drie tot zes gegroeid. Volgens promovendus Sierk de Jong van…

Stakingen bij DAF en Fokker om vastlopen cao Metalektro

Stakingen bij DAF en Fokker om vastlopen cao Metalektro

De werkgevers hebben het ultimatum van de vakbonden laten verlopen en zijn dus niet tegemoet gekomen aan de eisen van de werknemers. FNV Metaal kondigt daarom voor deze week al de eerste acties aan. Bij het hoofdkantoor…

Gratis nieuwsbrief

EOL

 

Focus op

ABB BV
ABB BV

Machineveiligheid, systemen en componenten

B&R Industriële Automatisering BV
B&R Industriële Automatisering BV

Perfection in Automation

Pilz Nederland
Pilz Nederland

Voor industriële (veilige) automatiseringsoplossingen

Rotero Holland BV
Rotero Holland BV

Stappenmotor - Servomotor - Elektro Magneet

Product van de maand

RSS
Drie functies in één relais

Nieuwe PROTECT SRB-E-FWS-TS veiligheidsrelais modules. Meer functies in één relais: bij het nieuwe veiligheidsrelais.

Download gratis engineering boeken

A gratis boeken downloaden

 

Agenda

1 juni 2018, Arnhem

State of Fashion: Searching for the New Luxury

Tentoonstelling over mode, met aandacht voor technologie en snufjes

27 augustus 2018, Amsterdam

EMC Europe

Internationaal symposium over EMC.

18 september 2018, Hardenberg

TIV

TIV houdt in 2018 haar twintigste editie in Hardenberg. Op 18, 19 en 20 september is de vakbeurs het...

Meer agendapunten »