17 feb. 1999
1 minuut
TNO spin-off Nearfield Instruments in Delft heeft twee investeerders gevonden. Het kan nu starten met de ontwikkeling van zijn eerste ultra snelle high-throughput Atomic Force Microscopy (HT-AFM) systeem voor metrologie van geavanceerde IC’s. Hiermee kan bestaande AFM tot duizend keer sneller worden gemaakt dan voorheen.
Samsung Venture Investment Corporation en Innovation Industries, een Nederlands investeringsfonds voor hightech innovaties in Nederland, investeren samen 10 miljoen euro. TNO blijft aandeelhouder.
De wereld vraagt om steeds weer krachtiger en energiezuiniger elektronica voor mobiele apparaten en computersystemen. Om nieuwe functionaliteiten mogelijk te maken en om optimaal gebruik te maken van de beschikbare ruimte op de wafer, zullen IC’s met behulp van nieuwe, gevoelige materialen kleiner worden naar afmetingen op atomaire schaal en tegelijkertijd in een volledige driedimensionale configuratie worden ontworpen. Om deze trends op technologisch en economisch haalbare wijze tegemoet te komen, zijn doorbraken in metrologieprocessen en apparatuur voor IC ontwikkeling en productie noodzakelijk. Zonder deze doorbraken zou de Wet van Moore tot een einde komen. De Wet van Moore is de observatie dat het aantal transistors in IC’s ongeveer elke twee jaar verdubbelt.
Atomic Force Microscopy (AFM) is een bekende technologie en wordt vaak toegepast in onderzoek. Een AFM-systeem maakt gebruik van een atoomscherpe tip om het oppervlak van het onderzochte monster te scannen, zonder het aan te raken, om het patroon erop te herkennen. AFM werd echter altijd te langzaam beschouwd voor industriële toepassingen. Vijf jaar geleden startte TNO het NOMI (Nano Opto-Mechatronics Instrumentation) programma waarin wetenschappelijk onderzoek gecombineerd wordt met toepassingsknowhow . Dit heeft geleid tot meerdere verbeteringen van deze technologie, waardoor de AFM tot 1000x sneller kan worden gemaakt dan de traditionele AFM -technologie. Dit maakt de AFM-oplossing van Nearfield Instruments van groot belang voor de halfgeleiderindustrie.
Anderen lazen ook
