Eerste cobot voor wafer fab onderhoud (video)

Lam Research Corp. heeft naar eigen zeggen de eerste cobot geïntroduceerd die is ontworpen voor onderhoudstaken op waferfabricageapparatuur.

De cobot, Dextro genaamd, is een mobiele eenheid met een robotarm die wordt bediend door een technicus of ingenieur en die helpt bij onderhoudstaken die tijdrovend en foutgevoelig zijn wanneer ze handmatig worden uitgevoerd.

Een typische wafer fab heeft honderden procestools die elk regelmatig, complex onderhoud vereisen. Dextro is ontworpen om de kosteneffectiviteit van deze apparatuur te verbeteren door kritieke onderhoudstaken herhaalbaar uit te voeren met submicronprecisie.

Geef een reactie

Je e-mailadres wordt niet gepubliceerd. Vereiste velden zijn gemarkeerd met *