China bouwt zijn eerste geavanceerde lithografiemachines. Is dat slecht nieuws voor ASML?

Dat een Chinees staatsbedrijf is begonnen met de productie van immersie-DUV-lithografiemachines was vorige week voldoende om het aandeel ASML stevig onder druk te zetten. De aanleiding was een bericht van The Information, waarin werd gemeld dat de eerste machines inmiddels in productie zijn en de eerste leveringen volgend jaar worden verwacht.

De beursreactie was voorspelbaar. Als China zelf lithografiemachines kan bouwen, waarom zou het dan nog ASML nodig hebben? China heeft echter geen EUV-machine gebouwd, maar DUV-systemen, vergelijkbaar met de generatie machines die ASML al jarenlang levert.

Dat maakt het nieuws niet onbelangrijk. DUV vormt nog altijd de ruggengraat van de wereldwijde chipproductie. Ook geavanceerde chips kunnen met DUV worden geproduceerd, zij het met complexe multi-patterning-processen. Voor China is dit bovendien de logische stap.

Volgens The Information gaat het om een eerste productieserie van een beperkt aantal machines. Media spreken over ongeveer vijf systemen in 2026 en zo’n twintig in 2027. Onafhankelijke bevestiging van die aantallen ontbreekt echter.

Ook vragen over de technische prestaties blijven onbeantwoord:

• Welke numerieke apertuur wordt gehaald?
• Wat zijn de overlay-specificaties?
• Welke throughput wordt bereikt?
• Hoe stabiel is het systeem tijdens langdurige productie?
• Welke yield behalen klanten daadwerkelijk?

Een werkende machine is nog geen productiemachine

Binnen de halfgeleiderindustrie telt uiteindelijk maar één ding: hoeveel goede chips produceert een fabriek per uur tegen zo laag mogelijke kosten. Daarvoor moet een lithografiemachine niet alleen nauwkeurig zijn, maar vooral jarenlang betrouwbaar functioneren. Stilstand kost chipfabrikanten miljoenen. Daarom zijn uptime, onderhoud, software, procescontrole en wereldwijde service minstens zo belangrijk als de optische prestaties. Dat is precies het terrein waarop ASML zijn voorsprong heeft opgebouwd. De waarde van een lithografiesysteem zit in tientallen jaren aan procesoptimalisatie, kalibratie, foutcorrectie en samenwerking met klanten als TSMC, Samsung en Intel.

Voor de Chinese binnenlandse markt kan een lokaal alternatief, ook als dat technisch nog niet volledig gelijkwaardig is, al aantrekkelijk zijn. Als exportrestricties blijven gelden, is een iets minder geavanceerde binnenlandse machine immers beter dan helemaal geen machine. Buiten China zullen chipfabrikanten pas overstappen als de nieuwe machines zich jarenlang hebben bewezen op throughput, overlay, beschikbaarheid en totale eigendomskosten. Dat is een traject van jaren, niet van maanden.