EO
Laatste bedrijfsnieuws:

Vind bedrijfsnieuws in:

Martin van den Brink Award gaat naar Marco Wieland

12 juni 2018 om 13:49 uur -

Marco Wieland (links) en Martin van den Brink. Foto DSPE

Marco Wieland, CTO en medeoprichter van Mapper Lithography in Delft, heeft de Martin van den Brink Award gekregen vanwege zijn rol als ‘technisch geweten’ bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie tot volwaardige aanvulling op de optische lithografie.

Wieland studeerde van 1993 tot 1999 Technische Natuurkunde aan de TU Delft en deed zijn afstudeeropdracht in de groep van prof. Pieter Kruit, hoogleraar in de optica van geladen deeltjes. Na zijn afstuderen richtte Wieland in 2000 samen met studiegenoot Bert Jan Kampherbeek en hoogleraar Kruit een bedrijf op, Mapper Lithography. Toen ideeën voor verbetering van de maskergebaseerde optische lithografie niet tot succesvolle uitwerking kwamen, gingen ze zich toeleggen op maskerloze elektronenbundellithografie. Deze alternatieve techniek schrijft rechtstreeks structuren op halfgeleiderwafers met behulp van tienduizenden parallelle elektronenbundels. Dat maakt de dure optiek en maskers van optische lithografie overbodig, maar kent zelf weer heel andere uitdagingen, zoals de razendsnelle besturing en magnetische afscherming van de elektronenbundels, naast bekende ‘issues' zoals trillingsisolatie, geavanceerde metrologie en beheersing van warmtedissipatie.


Inmiddels heeft Mapper nanometernauwkeurigheid aangetoond voor zowel de positionering van de wafertafel als de besturing van de elektronenbundels en draait er een eerste alfa-machine in de cleanroom van het Franse Leti. Voor de commercialisering van de techniek zijn verdere verhoging van de waferdoorvoersnelheid en verlaging van de kostprijs aanvullende opgaven.


Als CTO is Wieland, samen met COO Guido de Boer, eindverantwoordelijke voor de architectuur van de Mapper-machine, de ontwikkelingsroadmap van het bedrijf en de uitwerking van de diverse technische oplossingen. Zijn bijdragen daaraan zijn vastgelegd in tientallen patenten.

 

Award

Alle reden voor de jury om namens DSPE Marco Wieland te onderscheiden met de Martin van den Brink Award 2018. De jury bestond uit Jos Benschop (ASML), Pieter Kappelhof (Hittech Group), Adrian Rankers (Mechatronics Academy), Hans Krikhaar (DSPE) en Martin van den Brink (ASML).


De Martin van den Brink Award is in 2012 ingesteld om het belang van systeemarchitectuur te onderstrepen. Initiatiefnemers waren DSPE, TNO, Brainport Industries, High Tech Systems Platform, Point-One en High Tech Campus Eindhoven. De eerste award werd datzelfde jaar uitgereikt aan Erik Loopstra, systeemarchitect bij ASML. In 2016 ging de prijs naar Jan van Eijk, voormalig CTO Mechatronics bij Philips Applied Technologies en emeritus hoogleraar Advanced Mechatronics aan de TU Delft. Naamgever Martin van den Brink reikte de derde prijs op 7 juni uit aan ir. Marco Wieland vanwege zijn cruciale rol bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie.

Gerelateerd nieuws

'Zeilende' auto naar Australië (video)

'Zeilende' auto naar Australië (video)

Het Delftse Vattenfall Solar team presenteerde vandaag de nieuwe zonneauto, NunaX, waarmee de studenten de overwinning bij de Bridgestone World Solar Challenge (12-20 oktober) in Australië in de wacht hopen te slepen.

Met een MRI-scanner in de laadbak naar Oeganda

Met een MRI-scanner in de laadbak naar Oeganda

MRI-fysicus Andrew Webb ging de uitdaging aan om een goedkope en eenvoudige MRI-scanner te bouwen voor ontwikkelingslanden. Binnen een jaar wist zijn team een prototype te ontwikkelen dat in staat is om beelden te maken.

Geautomatiseerd kunstwerken tekenen in het zand

Geautomatiseerd kunstwerken tekenen in het zand

Als onderdeel van hun diplomaproject bij HTL Salzburg ontwikkelden Jakob Größlinger, Filip Okic, Christoph Praschl en Lukas Steinbichler een numeriek bestuurde zandplotter. De jonge ingenieurs werden daarbij…

Laatste nieuws

Flexibele vloeibare robots (video)

Flexibele vloeibare robots (video)

Wetenschappers van het Lawrence Berkeley National Laboratory (Berkeley Lab) hebben een nieuw materiaal gemaakt dat zowel vloeibaar als magnetisch is. Hun vinding maakt het onder andere mogelijk om flexibele, vloeibare…

DSPE Optics Week keert terug naar Eindhoven

DSPE Optics Week keert terug naar Eindhoven

De vierde DSPE Optics Week zal van 30 september tot en met 3 oktober plaatsvinden in Eindhoven. Het vierdaagse evenement omvat een symposium, aangevuld met beurs en demonstraties, en een driedaagse cursus. Het symposium…

3D-print je houten stoel

3D-print je houten stoel

Kijk, als je een houten stoel nodig hebt, kun je natuurlijk een boom omzagen en het hout bewerken tot stoel. Of je doet als Maarten Baas en je laat de boom in een mal groeien, waarop je 200 jaar later een kant en klare…

Meer nieuws »

Product van de maand

RSS
MVK Fusion veldbusmodule

... is de uitnodiging tot het standaardiseren van modulaire eenheden en opent de deur naar een één-module-strategie

Focus op

ABB BV
ABB BV

Machineveiligheid, systemen en componenten

B&R Industriële Automatisering BV *
B&R Industriële Automatisering BV *

Perfection in Automation

Elobau Benelux BV *
Elobau Benelux BV *

creating sustainable solutions

Pilz Nederland
Pilz Nederland

Voor industriële (veilige) automatiseringsoplossingen

Ringspann Benelux BV
Ringspann Benelux BV

Partner in aandrijf- en opspantechniek

Rotero Holland BV
Rotero Holland BV

Stappenmotor - Servomotor - Elektro Magneet

Tosec
Tosec

Specialist in plaatbewerking

Download gratis engineering boeken

A gratis boeken downloaden

 

Gratis nieuwsbrief

EOL