EO
Laatste bedrijfsnieuws:

Vind bedrijfsnieuws in:

Martin van den Brink Award gaat naar Marco Wieland

12 juni 2018 om 13:49 uur -

Marco Wieland (links) en Martin van den Brink. Foto DSPE

Marco Wieland, CTO en medeoprichter van Mapper Lithography in Delft, heeft de Martin van den Brink Award gekregen vanwege zijn rol als ‘technisch geweten’ bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie tot volwaardige aanvulling op de optische lithografie.

Wieland studeerde van 1993 tot 1999 Technische Natuurkunde aan de TU Delft en deed zijn afstudeeropdracht in de groep van prof. Pieter Kruit, hoogleraar in de optica van geladen deeltjes. Na zijn afstuderen richtte Wieland in 2000 samen met studiegenoot Bert Jan Kampherbeek en hoogleraar Kruit een bedrijf op, Mapper Lithography. Toen ideeën voor verbetering van de maskergebaseerde optische lithografie niet tot succesvolle uitwerking kwamen, gingen ze zich toeleggen op maskerloze elektronenbundellithografie. Deze alternatieve techniek schrijft rechtstreeks structuren op halfgeleiderwafers met behulp van tienduizenden parallelle elektronenbundels. Dat maakt de dure optiek en maskers van optische lithografie overbodig, maar kent zelf weer heel andere uitdagingen, zoals de razendsnelle besturing en magnetische afscherming van de elektronenbundels, naast bekende ‘issues' zoals trillingsisolatie, geavanceerde metrologie en beheersing van warmtedissipatie.


Inmiddels heeft Mapper nanometernauwkeurigheid aangetoond voor zowel de positionering van de wafertafel als de besturing van de elektronenbundels en draait er een eerste alfa-machine in de cleanroom van het Franse Leti. Voor de commercialisering van de techniek zijn verdere verhoging van de waferdoorvoersnelheid en verlaging van de kostprijs aanvullende opgaven.


Als CTO is Wieland, samen met COO Guido de Boer, eindverantwoordelijke voor de architectuur van de Mapper-machine, de ontwikkelingsroadmap van het bedrijf en de uitwerking van de diverse technische oplossingen. Zijn bijdragen daaraan zijn vastgelegd in tientallen patenten.

 

Award

Alle reden voor de jury om namens DSPE Marco Wieland te onderscheiden met de Martin van den Brink Award 2018. De jury bestond uit Jos Benschop (ASML), Pieter Kappelhof (Hittech Group), Adrian Rankers (Mechatronics Academy), Hans Krikhaar (DSPE) en Martin van den Brink (ASML).


De Martin van den Brink Award is in 2012 ingesteld om het belang van systeemarchitectuur te onderstrepen. Initiatiefnemers waren DSPE, TNO, Brainport Industries, High Tech Systems Platform, Point-One en High Tech Campus Eindhoven. De eerste award werd datzelfde jaar uitgereikt aan Erik Loopstra, systeemarchitect bij ASML. In 2016 ging de prijs naar Jan van Eijk, voormalig CTO Mechatronics bij Philips Applied Technologies en emeritus hoogleraar Advanced Mechatronics aan de TU Delft. Naamgever Martin van den Brink reikte de derde prijs op 7 juni uit aan ir. Marco Wieland vanwege zijn cruciale rol bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie.

Gerelateerd nieuws

Akoestiek nu beheersbaar ongeacht grootte en vorm van de ruimte

Akoestiek nu beheersbaar ongeacht grootte en vorm van de ruimte (video)

Stel je voor: je kunt de akoestiek van je omgeving beheersen, ongeacht de grootte en vorm van de ruimte om je heen, de beschikbaarheid van elektriciteit en het soort geluid dat je wilt beheersen. Dat is wat het prototype…

Warehouse living lab Sharehouse van start

Warehouse living lab Sharehouse van start

Recentelijk hebben 24 partners uit de wetenschap, het bedrijfsleven, onderwijs en de overheid zich gecommitteerd aan het living lab Sharehouse voor innovaties ten behoeve van automatisering, robotisering en data-driven…

Slimme bladtip heft vortex op

Slimme bladtip heft vortex op

De startup nigeQ wil een innovatieve bladtip gaan testen die de wervelingen aan het einde van turbinebladen opheft. Dit levert naar verwachting een extra energieopbrengst van zo’n 10% op. Bovendien beperkt deze…

Laatste nieuws

Een airco op water en zout

Een airco op water en zout

De TU in Turijn en het Italiaanse KNMI (INRiM) stellen een apparaat voor dat een koelbelasting kan genereren zonder het gebruik van elektriciteit. Net als bij traditionele koelapparaten, maakt de technologie gebruik van…

VS 3D-printen reactorkern

Amerika 3D-print reactorkern "(video)

Onderzoekers van het Oak Ridge National Laboratory van het Amerikaanse Department of Energy hebben een metalen reactorkern ge-3D-print. Over twee jaar willen ze de gehele reactorproductie hebben gemoderniseerd.

AI wordt concreet toepasbaar voor de industrie in publiek-private samenwerking

AI wordt concreet toepasbaar voor de industrie in publiek-private samenwerking

De Jheronimus Academy of Data Science (Jads) zal de komende vier jaar met een consortium van academische en industriële partners werken aan de ontwikkeling van een Artificial Intelligence (AI)-toolkit, bestaande uit…

Meer nieuws »

Product van de maand

RSS
MVK Fusion - 3 modules in 1

Murrelektronik introduceert een PROFINET/PROFIsafe module welke drie basisfuncties in één module verenigt:

Focus op

ABB BV
ABB BV

Machineveiligheid, systemen en componenten

B&R Industriële Automatisering BV *
B&R Industriële Automatisering BV *

Perfection in Automation

Elobau Benelux BV *
Elobau Benelux BV *

creating sustainable solutions

Pilz Nederland
Pilz Nederland

Voor industriële (veilige) automatiseringsoplossingen

Ringspann Benelux BV
Ringspann Benelux BV

Partner in aandrijf- en opspantechniek

Rotero Holland BV
Rotero Holland BV

Stappenmotor - Servomotor - Elektro Magneet

Download gratis engineering boeken

A gratis boeken downloaden

 

Gratis nieuwsbrief

EOL