EO
Laatste bedrijfsnieuws:

Vind bedrijfsnieuws in:

Martin van den Brink Award gaat naar Marco Wieland

12 juni 2018 om 13:49 uur -

Marco Wieland (links) en Martin van den Brink. Foto DSPE

Marco Wieland, CTO en medeoprichter van Mapper Lithography in Delft, heeft de Martin van den Brink Award gekregen vanwege zijn rol als ‘technisch geweten’ bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie tot volwaardige aanvulling op de optische lithografie.

Wieland studeerde van 1993 tot 1999 Technische Natuurkunde aan de TU Delft en deed zijn afstudeeropdracht in de groep van prof. Pieter Kruit, hoogleraar in de optica van geladen deeltjes. Na zijn afstuderen richtte Wieland in 2000 samen met studiegenoot Bert Jan Kampherbeek en hoogleraar Kruit een bedrijf op, Mapper Lithography. Toen ideeën voor verbetering van de maskergebaseerde optische lithografie niet tot succesvolle uitwerking kwamen, gingen ze zich toeleggen op maskerloze elektronenbundellithografie. Deze alternatieve techniek schrijft rechtstreeks structuren op halfgeleiderwafers met behulp van tienduizenden parallelle elektronenbundels. Dat maakt de dure optiek en maskers van optische lithografie overbodig, maar kent zelf weer heel andere uitdagingen, zoals de razendsnelle besturing en magnetische afscherming van de elektronenbundels, naast bekende ‘issues' zoals trillingsisolatie, geavanceerde metrologie en beheersing van warmtedissipatie.


Inmiddels heeft Mapper nanometernauwkeurigheid aangetoond voor zowel de positionering van de wafertafel als de besturing van de elektronenbundels en draait er een eerste alfa-machine in de cleanroom van het Franse Leti. Voor de commercialisering van de techniek zijn verdere verhoging van de waferdoorvoersnelheid en verlaging van de kostprijs aanvullende opgaven.


Als CTO is Wieland, samen met COO Guido de Boer, eindverantwoordelijke voor de architectuur van de Mapper-machine, de ontwikkelingsroadmap van het bedrijf en de uitwerking van de diverse technische oplossingen. Zijn bijdragen daaraan zijn vastgelegd in tientallen patenten.

 

Award

Alle reden voor de jury om namens DSPE Marco Wieland te onderscheiden met de Martin van den Brink Award 2018. De jury bestond uit Jos Benschop (ASML), Pieter Kappelhof (Hittech Group), Adrian Rankers (Mechatronics Academy), Hans Krikhaar (DSPE) en Martin van den Brink (ASML).


De Martin van den Brink Award is in 2012 ingesteld om het belang van systeemarchitectuur te onderstrepen. Initiatiefnemers waren DSPE, TNO, Brainport Industries, High Tech Systems Platform, Point-One en High Tech Campus Eindhoven. De eerste award werd datzelfde jaar uitgereikt aan Erik Loopstra, systeemarchitect bij ASML. In 2016 ging de prijs naar Jan van Eijk, voormalig CTO Mechatronics bij Philips Applied Technologies en emeritus hoogleraar Advanced Mechatronics aan de TU Delft. Naamgever Martin van den Brink reikte de derde prijs op 7 juni uit aan ir. Marco Wieland vanwege zijn cruciale rol bij de ontwikkeling van elektronenbundellithografie.

Gerelateerd nieuws

Kracht van wet voor nieuwe Richtlijn Steigers

Wettelijke status voor nieuwe Richtlijn Steigers

De nieuwe Richtlijn Steigers is opgenomen in de Arbocatalogus Bouw & Infra. Daarmee heeft de richtlijn nu officiële kracht van wet gekregen dankzij de gezamenlijke inspanning van verschillende branches om de…

Dunne filmzonnecellen in autowegen, fietspaden, vangrails en geluidschermen

Dunne filmzonnecellen in autowegen, fietspaden, vangrails en geluidschermen

Je zou zeggen dat de weg een hele slechte plek is voor zonnecellen. Ze krijgen daar immers te maken met vervuiling, hoge druk, wrijving, en - schaduwwerpend– verkeer. Toch is er een sterke wens om het wegdek in te…

In drie uur van Amsterdam naar Sydney

In drie uur van Amsterdam naar Sydney

Een hypersonisch vliegtuig kan acht keer sneller dan het geluid en tien keer sneller dan een hedendaags passagiersvliegtuig. Daarmee vlieg je in drie uur naar Australië. Deze vliegtuigen vliegen in de stratosfeer, waar…

Laatste nieuws

Chemici lossen hardnekkig katalysatorprobleem op na vier decennia

Hardnekkig katalysatorprobleem na vier decennia opgelost

Leidse en Eindhovense scheikundigen hebben na decennia de discussie beëindigd over het juiste model voor de eenvoudigste chemische reactie in heterogene katalyse, die essentieel is voor brandstofcellen. Met behulp van…

Kunstmatige long maakt brandstof van water

Kunstmatige long maakt brandstof van water

Onderzoekers van de Stanford universiteit zijn erin geslaagd om de werking van de long te kopiëren in een elektrokatalytisch mechanisme waarmee water energiezuinig kan worden gesplitst in waterstof en zuurstof. Dit…

100x sneller 3D-printen met licht

100x sneller 3D-printen met licht (video)

3D-printen met een vloeibare hars kan nu 100 keer sneller dan voorheen én de hars blijft niet meer aan zijn container kleven. De truc zit in 2 soorten licht in plaats van 1, en een remmer in de hars.

Meer nieuws »

Focus op

ABB BV
ABB BV

Machineveiligheid, systemen en componenten

B&R Industriële Automatisering BV *
B&R Industriële Automatisering BV *

Perfection in Automation

Pilz Nederland
Pilz Nederland

Voor industriële (veilige) automatiseringsoplossingen

Rotero Holland BV
Rotero Holland BV

Stappenmotor - Servomotor - Elektro Magneet

Safe PCB Nederland
Safe PCB Nederland

Printplaten/PCB's, prototype en series

Download gratis engineering boeken

A gratis boeken downloaden

 

Gratis nieuwsbrief

EOL