EO

Imec en ASML versterken samenwerking

22 oktober 2018 om 08:17 uur -

Een NXE:3400B

Imec en ASML gaan ‘hernieuwd en intenser’ samenwerken om EUV-lithografie klaar te stomen voor de bredere chipindustrie.

De organisaties zijn al bijna 30 jaar partners. In 2014 werd het Advanced Patterning Center opgericht, een gemeenschappelijk onderzoekscentrum om lithografietechnologie te optimaliseren. Die samenwerking wordt nu verder uitgebreid.


In de loop van 2019 zal ASML in de imec cleanroom een NXE:3400B installeren, één van de meest geavanceerde EUV scanners. Zo krijgen de imec-onderzoekers en partners toegang tot de nieuwste technologie voor EUV-lithografie. Met een vermogen van 250 Watt behaalt het toestel bovendien een lang beoogd streefdoel in productiviteit van 125 wafers (siliciumschijven waarop microchips worden geproduceerd) per uur, wat deze nieuwste generatie EUV lithografietoestellen geschikt maakt voor de massaproductie van chips. Ter vergelijking: bij de eerste generatie NXE:3300 toestellen lag het aantal wafers dat verwerkt wordt op 21 per uur. Door gezamenlijke onderzoek zijn ASML en imec erin geslaagd om hier de noodzakelijke vooruitgang te boeken.

 

 

Nieuw lab in Veldhoven

Ook komt er een gemeenschappelijk onderzoekslab in Veldhoven. Daar zullen onderzoekers van imec en ASML experimenteren met een volgende generatie van EUV-lithografie die noodzakelijk is om de basisbouwblokken van chips, transistoren, nog kleiner te maken en dus nog krachtiger chips te bouwen dan vandaag mogelijk is. Dit onderzoek zal gebeuren op een nieuw EUV-lithografiesysteem met hogere Numerische Apertuur (NA). Omdat systemen met een hogere NA het EUV-licht vanuit een bredere invalshoek kunnen projecteren op de wafer, kunnen ze nog fijnere patronen creëren.


Martin van den Brink, President & Chief Technology Officer bij ASML: "Toegang tot de meest geavanceerde halfgeleiderlithografietools is van vitaal belang voor het verkennen en bepalen van weg naar toekomstige generaties van halfgeleiderapparaten en -toepassingen. Imec's onderzoekers en klanten kunnen nog vele jaren zeker zijn van de meest actuele holistische lithografietechnologie."

 

Product van de maand

RSS
NIEUW! Pilz Veiligheidslaserscanner PSENscan

Met de tweedimensionale veiligheidslaserscanner van Pilz, de PSENscan, beveiligt u gevarenzones optimaal.

Focus op

ABB BV
ABB BV

Machineveiligheid, systemen en componenten

B&R Industriële Automatisering BV
B&R Industriële Automatisering BV

Perfection in Automation

Pilz Nederland
Pilz Nederland

Voor industriële (veilige) automatiseringsoplossingen

Rotero Holland BV
Rotero Holland BV

Stappenmotor - Servomotor - Elektro Magneet

Safe PCB Nederland
Safe PCB Nederland

Printplaten/PCB's, prototype en series

Download gratis engineering boeken

A gratis boeken downloaden