ASML en Imec richten nieuw lithografiecentrum op

ASML en imec hebben kondigen de oprichting aan van het Advanced Patterning Center, een nieuwe belangrijke stap in hun jarenlange intensieve samenwerking. Het Advanced Patterning Center komt op de Imec campus in Leuven en zal de komende jaren naar verwachting uitgroeien tot een centrum met honderd ingenieurs.

De chipindustrie is steeds op zoek is naar krachtigere chips, waardoor de bouwstenen van de chips, de transistoren, steeds verder moeten verkleinen zodat er meer transistoren op eenzelfde chip kunnen. Maar hoe kleiner de dimensies van de transistoren, hoe complexer de processen om ze te maken. Imec en ASML zullen binnen het Advanced Patterning Center samenwerken om zeer complexe geavanceerde lithografieprocessen te ontwikkelen voor de allerkleinste chiptechnologieën voor de volgende generaties chips.

Chipontwerp optimaliseren

Door de complexiteit is het noodzakelijk dat de lithografieprocessen niet losstaand ontwikkeld worden maar in een geïntegreerde benadering waarbij alle aspecten van chipproductie in rekening worden gebracht. Het Center zal op geproduceerde transistorstructuren de interacties tussen alle stappen van het lithografieproces analyseren en vervolgens de materialen en het chipontwerp optimaliseren en verfijnen.

Het Advanced Patterning Center brengt hiertoe Imec’s en ASML’s complementaire expertise, hun ingenieurteams en hun lithografie-infrastructuur samen. Imec beschikt over een van de meest geavanceerde clean rooms ter wereld, met een volledige 300-mm pilootlijn (en extensie naar 450-mm wafers), en een wereldwijd partnernetwerk van materiaal- en toestel leveranciers, en chip- en systeemfabrikanten.

ASML zal het Advanced Patterning Center ondersteunen met zijn meest geavanceerde scanners, metrologiesystemen en holistische lithografieoplossingen, en zal via het Center zijn aanbod aan de industrie kunnen optimaliseren.

Cruciale doorbraken

"ASML en Imec zijn al bijna sinds de oprichting van beide organisaties partners. Die relatie heeft ons beiden geholpen in onze groei. Maar ook de chipindustrie heeft de vruchten geplukt van onze samenwerking, omdat we samen sneller tot cruciale doorbraken zijn gekomen in de ontwikkeling van steeds kleinere chiptechnologieën", zegt Martin van den Brink, voorzitter en Chief Technology Officer van ASML. "Ik ben ervan overtuigd dat de oprichting van het Advanced Patterning Center en de verdere investering in onze gezamenlijke sterktes, ook nu tot nieuwe cruciale doorbraken zal leiden en de ontwikkeling van nieuwe chiptechnologieën verder zal vooruitstuwen."

"Voor de snel-evoluerende en toestel-intensieve chipindustrie is het van essentieel belang om innovatief te blijven en toegang te hebben tot de meest geavanceerde chiptechnologieën", aldus Luc Van den hove, voorzitter en CEO van Imec. "Door onze samenwerking naar een hoger niveau te tillen zullen we onze kennis nog sneller kunnen uitbouwen, en zo de noodzakelijke vooruitgang boeken in het ontwikkelen van lithografische oplossingen. Met de oprichting van het Advanced Patterning Center zal zowel Imec’s als ASML’s internationaal partnernetwerk beschikken over de de meest geavanceerde lithografieprocessen, essentieel voor de productie van nieuwe generaties chips met ultrakleine chiptechnologieën (kleiner dan 10 nm)."