Mesa+ zet met PLD-machine Solmates stap richting industrie

UT-onderzoeksinstituut Mesa+ schaft een geavanceerde Pulsed Laser Deposition (PLD) machine aan van spin-off bedrijf en onderzoekspartner Solmates. Dit apparaat maakt het mogelijk om nieuwe materialen en (onderdelen voor) chips te creëren door deze atoomlaag na atoomlaag op te bouwen.

Met de nieuwe machine verstevigt Mesa+ zijn positie ten opzichte van de industrie nog verder, omdat onderzoekers en de vele externe gebruikers van het Mesa+ NanoLab, voortaan ook in staat zijn om op industriële schaal te werken. Nieuwe wetenschappelijke kennis op het gebied van onconventionele elektronica en geavanceerde materialen is hierdoor toegankelijker en eerder geschikt voor toepassing in de praktijk. 

Atoomlaag

Mesa+ is toonaangevend bij het creëren van extreem dunne laagjes van slechts één atoomlaag dik. Hierbij wordt een materiaal met een laser omgezet naar een plasma dat als een dun laagje neerslaat op een ondergrond. Door verschillende dunne laagjes op elkaar te stapelen kun je compleet nieuwe (onderdelen voor) chips maken en materialen creëren met eigenschappen die niet eerder zijn waargenomen. De techniek waarmee dit gebeurt – en die mede aan de UT is ontwikkeld – heet Pulsed Laser Deposition (PLD). Arjen Janssens, CEO van Solmates, verwacht dat PLD rond 2020 uitgroeit tot een van de standaard productiesystemen voor chips.  

Industrieel format

Met de apparatuur waarmee dit voorheen op een universiteit gebeurde, was het alleen mogelijk om relatief kleine oppervlakken (van 10 bij 10 millimeter) te bewerken. De nieuwe machine die Mesa+ aanschaft, stelt je in staat veel grotere oppervlakken te patroneren. Onderzoekers, en de andere gebruikers van het Mesa+ NanoLab kunnen nu, net als in de industrie, wafers met een diameter van 20 centimeter patroneren. Onderzoeksresultaten en nieuwe technologie van het instituut zijn hierdoor direct toepasbaar in de industrie. Bovendien is de nieuwe apparatuur vele malen gebruiksvriendelijker, waardoor veel meer gebruikers van het NanoLab er gebruik van kunnen maken.

Janneke Hoedemaekers, zakelijk directeur van Mesa+, spreekt van een belangrijke stap richting de industrie. "Met deze apparatuur hebben we veel nieuwe mogelijkheden en maken we de stap van laboratoriumschaal naar industriële schaal. Dit laatste versterkt de samenwerking met de industrie verder en zorgt dat onze technologie, prototypes en kennis eerder toegepast kunnen worden. We krijgen bovendien extra mogelijkheden om complexe materialen, zoals oxidische materialen, te combineren met siliciumtechnologie."

Overigens profiteren niet alleen UT-onderzoekers van de nieuwe apparatuur. De faciliteiten van het NanoLab worden veelvuldig door externe bedrijven gebruikt, uit de regio en ver daarbuiten. 

Solmates

Solmates, het bedrijf dat de PLD-machine ontwikkelde en verkoopt, is een spin-off bedrijf van de Universiteit Twente. Het is wereldwijd het enige bedrijf dat PLD-apparatuur maakt die geschikt is voor industriële toepassing. Het bedrijf werkt sinds 2009 aan de technologie en is in het bezit belangrijke patenten. In 2013 verkocht het bedrijf zijn eerste PLD-machine. Onlangs leverde het bedrijf een machine aan Imec, het toonaangevende researchcentrum voor nano-elektronicain Leuven. De aanschaf van de apparatuur is financieel mede mogelijk gemaakt door NanoLabNL.